主要配置

• 标刻速度：4000mm/s
• 定位速度：10000mm/s
• 跟踪误差：0.25ms
• 非线性度：<3.5mrad/44°
• 重复精度：<8μrad
• 1%全行程：≤0.4ms
• 增益漂移：<50ppm/K
• 零位漂移：<15μrad/K
• 8小时漂移：<0.3mrad
• 扫描角度：±0.35rad
• 镜片光斑：10mm
• 通讯协议：XY2-100
• 供电电源：±15V DC，3A
• 工作温度：25℃±10℃
• 波长：1064nm、532nm、355nm
• 扩束比：1.4、1.4、3
• 入射光斑：7mm、7mm、3mm
• 变焦范围：光纤 ±30mm(搭配 F254-174场镜数据)
                   绿光 ±7mm(搭配F165-115场镜数据)
                   紫外 ±15mm(搭配F254-175场镜数据)
• 加工幅面：150(可更换场镜)
                   100(可更换场镜)
                   150(可更换场镜)